Eigenschaften:

• Bewegung ohne mechanisches Spiel
• Hub bis zu 100µm
• integrierte Wegübersetzung
• nm-Auflösung
• einfache Justage
• integrierte Vorspannung
• dynamische Applikation
• hohe Resonanzfrequenz
• kombinierbar mit anderen Systemen
• Vakuumausführung optional erhältlich

Anwendungsbeispiele:

• Faserpositionierung, Laseroptik
• Scansysteme
• Mikromanipulation

Grundprinzip der Bewegung sind Parallelogramme, die durch Festkörpergelenke gebildet werden. Piezokeramiken arbeiten als Antrieb. Damit wird eine parallele und spielfreie Bewegung erzeugt. Die z-Positionierungssysteme lassen sich leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen verschiedener Hersteller kombinieren.

Die Piezoelemente der Serie PZ 100 können direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden. Auch ein dynamischer Betrieb ist möglich.

Die Piezoversteller der Serie PZ 100 können mit integrierten Wegsensoren (kapazitiv oder DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.