Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL
Eigenschaften:
- Positionierschritte im einstelligen Nanometerbereich
- Positionierung im Millisekundenbereich
- Positionsstabilität von wenigen Nanometern
- Stellweg ohne Positionsregelung von 350µm/ mit Positionsregelung: 250µm
- sehr hohe Wiederholgenauigkeit
Applikationen:
- Halbleiter- und Solarherstellung
- Lithografie
- Displayherstellung
- Oberflächenstrukturierung
- Oberflächenüberprüfung
- Chipvermessung
- Vermessung von Leiterbahnen
- Messsysteme
- Qualitätskontrolle
- Bonding-Technologie
Optionen:
- Zusätzliche Vakuumansaugung
- Vakuumausführung
- aktiver Kippausgleich
Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. In diesem Bereich sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Ebenso ist es möglich, diese Position mit derselben Präzision beizubehalten. Der Winkelfehler des PZ 250 CAP WL liegt im unteren einstelligen µrad-Bereich. Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiter und Solarenergie, Lithografie und Oberflächenüberprüfung hervorragend geeignet.