Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL

Eigenschaften:

Positionierschritte im einstelligen Nanometerbereich
Positionierung im Millisekundenbereich
Positionsstabilität von wenigen Nanometern
Stellweg ohne Positionsregelung von 350µm/ mit Positionsregelung: 250µm
sehr hohe Wiederholgenauigkeit

Applikationen:

Halbleiter- und Solarherstellung
Lithografie
Displayherstellung
Oberflächenstrukturierung
Oberflächenüberprüfung
Chipvermessung
Vermessung von Leiterbahnen
Messsysteme
Qualitätskontrolle
Bonding-Technologie

Optionen:

Zusätzliche Vakuumansaugung
Vakuumausführung
aktiver Kippausgleich

Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. In diesem Bereich sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Ebenso ist es möglich, diese Position mit derselben Präzision beizubehalten. Der Winkelfehler des PZ 250 CAP WL liegt im unteren einstelligen µrad-Bereich. Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiter und Solarenergie, Lithografie und Oberflächenüberprüfung hervorragend geeignet.