Z-Achsen Nanostelltisch PZ 8 D12
Eigenschaften:
- Hochparallele Bewegung durch Parallelogrammdesign
- 3 kHz Resonanzfrequenz
- Version mit Positionssensor
- Hub ohne mechanisches Spiel durch Festkörpergelenke
Anwendungsbeispiele:
- STM und AFM Mikroskopie
- Scannersysteme
- Halbleitertechnik
- Mikroelektronik
Die Z-Achsen-Nanostelltische PZ 8 bzw. 20 D12 wurden ursprünglich als Zusatzelemente für die Serie PXY D12 entwickelt und stellen eine Spezialausführung der PZ Aktoren dar. Sie bieten eine Bewegung in z-Richtung 8 µm bzw. 20 µm.
Die Piezoaktoren PZ 8 und 20 D12 verfügen über ein einfaches, schlichtes Design ohne Boden- oder Deckplatte und können sehr schnell und einfach mit anderen Systemen kombiniert werden. Alle Elemente sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.