Z-Achsen Nanostelltisch PZ 8 D12

Eigenschaften:

Hochparallele Bewegung durch Parallelogrammdesign
3 kHz Resonanzfrequenz
Version mit Positionssensor
Hub ohne mechanisches Spiel durch Festkörpergelenke

Anwendungsbeispiele:

STM und AFM Mikroskopie
Scannersysteme
Halbleitertechnik
Mikroelektronik

Die Z-Achsen-Nanostelltische PZ 8 bzw. 20 D12 wurden ursprünglich als Zusatzelemente für die Serie PXY D12 entwickelt und stellen eine Spezialausführung der PZ Aktoren dar. Sie bieten eine Bewegung in z-Richtung 8 µm bzw. 20 µm.

Die Piezoaktoren PZ 8 und 20 D12 verfügen über ein einfaches, schlichtes Design ohne Boden- oder Deckplatte und können sehr schnell und einfach mit anderen Systemen kombiniert werden. Alle Elemente sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.