nanoX - Hochleistungs-Nanopositioniersysteme

Die Hochleistungs-Nanopositioniersysteme der Serie nanoX arbeiten nach einer bidirektionalen Antriebskonstruktion. Dadurch zeichnen sich die Piezo-Tische durch eine extrem hohe Belastungsfähigkeit bei gleichzeitig hervorragenden dynamischen Eigenschaften aus.

Was bedeutet bidirektionales Antriebsdesign?

Lesen Sie hierzu in unserer Piezo-Pedia

nanoX 400 mit 5kg Last

nanoX - Hochleistungs-Positionierer

nanoX 400 SG

nanoX 200 Nanopositioniersysteme (Hohe Lasten)
Stellweg: bis zu 240µm in X-Achse
Max. Last: 10kg;
Option integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoX 400 Piezopositionierer
Stellweg: bis zu 480µm in X-Achse
Max. Last: 5 kg;
Option: integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoX 240 SG 45° Piezopositionierer
Stellweg: bis zu 240 µm in X-Achse
Strahlumlenkung 90°
Anwendung: Zylinderkopfinspektionssystem
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoSX 400 Nanopositioniersysteme
Stellweg: bis zu 450 µm in X-Achse; flaches Design
Max. Last: 10 kg; (f= 280Hz bei 0.1kg)
Option: integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoSX 800 Hochdynamik-Piezopositionierer
Stellweg: bis zu 900 µm in X-Achse
Max. Last: 5 kg; (f = 200 Hz bei 0.1 kg)
Option: integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoSXY 120 Piezopositionierer
Stellweg: bis zu 120 µm in XY-Achse
Max. Last: 10kg; (f = 280 Hz bei 0.1 kg)
Option: integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

nanoSXY 400 Piezo-Positioniertisch
Stellweg: bis zu 450 µm in X-Achse
Max. Last: 5 kg; (f = 200 Hz bei 0.1 kg)
Option: integrierter Positionssensor
nanoX Antrieb - hohe Dynamik bei Zuladung!

Schnelligkeit, Präzision und Kraft - das sind die wesentlichen Merkmale, die einen Piezoantrieb charakterisieren. Die Nanopositioniersysteme der Serie nanoX sind optimiert um große Lasten exakt zu positionieren. So wurde der Nanopositionierer nanoX 400 entwickelt, um eine Masse von 10 kg noch dynamisch mit einer Präzision im Nanometerbereich zu positionieren. Solche Anforderungen zur hochgenauen Nanopositionierung mit Piezo-Tischen kommen aus der Halbleiterindustrie und der Automatisierung. Bei den Hochleistungs-Piezopositionierern der Serie nanoX werden je Achse 2 gegenläufig gesteuerte Keramiken verwendet. Während ein Aktuator geladen wird, wird die zweite im Piezo-Antrieb verwendete Keramik entladen. Durch diese spezielle Piezo-Steuertechnologie können aktive Zustell- und Rückstellkräfte generiert werden. Somit ist es möglich Piezo-Scanner anzubieten, die sowohl im Hinblick auf die dynamischen Eigenschaften, wie auch die Kapazität im Hochlastbereich, für Piezotische besondere Merkmale aufweist. Die Nanopositioniersysteme der Serie nanoX sind im Standarddesign für Hochlastanwendungen konzipiert. Eine Variante dieser Piezotische ist die Serie nanoSX. Diese Aktoren sind besonders flache Piezopositionierer. Aufgrund der Struktur eignen sich diese Piezosysteme besonders für dynamisch anspruchsvolle Scanning- und Positionieraufgaben mit Präzisionsanforderungen der Nanopositionierung.

Die Piezopositionierer der Serie nanoX mit bi-direktionalem Antrieb bieten dem Anwender folgende Vorteile:

  • Sehr hohe Steifigkeit - daraus resultieren: hohe Dynamik, geringe Anstiegszeit kurze Einschwingzeit
  • Aktive Zug- und Druckkraft - daraus resultieren: aktives Dämpfungsverhalten, Schwingungskontrolle, hoher Lastbereich, aufgezeichnete Führungseigenschaften
  • Linearer Hub bis zu 900 µm
  • Positionierung ohne mechanisches Spiel
  • Innenöffnung für Strahlführung
  • Kapazitive Positionssensorik
  • Integrierte Temperaturkompensation
  • Ausgezeichnetes Scanverhalten
  • Extreme z-Steifigkeit

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