XY Hochleistungspositionierer Serie nanoSXY 400

nanoSXY 400 CAP
nanoSXY 400 CAP

XY Hochleistungspositionierer mit 400 µm Hub je Achse

  • Hub in XY bis zu 400 µm
  • 12,5 mm freie Innenapertur
  • Extreme Führungsgenauigkeit durch nanoX-Antrieb
  • 5 N Z-Achsensteifigkeit
  • 0,6 nm Auflösung


Die neue Serie nanoSXY basiert auf dem speziellen bi-direktionalen nanoX Antriebsdesign. Somit können Systeme angeboten werden, welche bei Abmessungen von nur 60 x 60 mm in Länge und Breite und einer Gesamthöhe von lediglich 20 mm, einen Stellweg von bis zu 400 µm in zwei Achsen ermöglichen. Der freie Innendurchmesser beträgt sogar 12,5 mm.

Ein Vorteil des nanoX Antriebs ist die extreme Führungsgenauigkeit, die speziell den hohen Anforderungen der Nano-Positioniertechnik angepasst wurde. Die Auflösung beträgt 0,6 nm bei einer Tragfähigkeit bis zu 100 N Last.

Die extrem hohe Steifigkeit ermöglicht Anstiegszeiten im µsec-Bereich. Auch können die Systeme mit hochauflösenden Sensorsystemen ausgerüstet werden, die eine präzise Positionsüberwachung realisieren.

Optional sind Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.

Einsatzfelder für diese Systemserie finden sich im Bereich der hochauflösenden Positionierung anderer Komponenten, als Scanning-Stage für alle Arten der Mikroskopie sowie in der Materialforschung und in der Halbleitertechnik.

Empfohlene Piezo Steuerung
Aufgrund des bi-direktionalen Piezo Antriebsdesign der Serie nanoX werden zur Steuerung Verstärkersysteme benötigt, welche das nanoX Prinzip der Piezo Aktoren unterstützen. Die geeigneten analogen Piezo Controller sind mit "nanoX" gekennzeichtet. Die digitalen Piezo Controller der Serie d-Drive sind grundsätzlich für alle Piezoaktoren geeignet.

Analog: Controller Serie ENV 300 nanoX und ENV 800nanoX
Analog OEM: Controller Serie 30V300 nanoX
Digital: Digitaler Controller Serie d-Drive

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