Piezopositionierer MIPOS 16-158 für Messsysteme, Interferometrie und Weißlichtinterferometrie

Produkt-Highlights:

• 16 µm Verfahrbereich
• Große Innenöffnung
• Hohe Steifigkeit für schnellste Positionierung
• Typische Schrittauflösung 0.04 nm
• Zusatzlast montierbar bis 3 kg
• Horizontal oder vertikal montierbar (inkl. Last)!

MIPOS 16-158


Der Piezopositionierer MIPOS 16-158 ist speziell für die präzise Positionierung von Optiken mit einer Genauigkeit im Bereich einzelner Lichtwellenlängen konzipiert. Durch die hohe Auflösung und die schnelle Reaktionszeit ergeben sich besonders für die  Interferometrie interessante Anwendungsmöglichkeiten. Auf dem Gebiet der 3D Messung von Oberflächen ist die Weißlichtinterferometrie mit einer Auflösung im Nanometerbereich inzwischen zwar etabliert, Messzeiten und Genauigkeit können aber dank der quasi unbegrenzten Auflösung und der hohen Reaktionsgeschwindigkeit piezoelektrischer Aktoren weiter verbessert werden. Die Piezopositionierer MIPOS 16-158 eignet sich besonders für den Einsatz in solchen Messsystemen. Das robuste Positioniersystem ist ausgestattet mit einer ultrahochauflösenden Antriebseinheit, basierend auf piezoelektrischen Aktoren. Diese können dank einer integrierten Vorspannung mit höchster Dynamik operieren und benötigen bei Schrittweiten im Nanometerbereich lediglich Mikrosekunden zur Positionierung.

Besonderheiten: Die MIPOS 16-158 ist in der Lage eine Masse von 3kg exakt, ohne Beeinträchtigung der technischen Spezifikationen zu positionieren. Dabei kann das System wahlweise horizontal oder vertikal montiert werden.

Schnittstelle: Der Verfahrbereich des Piezopositionierers MIPOS 16-158 kann mittels eines analogen Steuersignals von -20 V ... +130 V gesteuert werden. Empfohlen wird dafür der Spannungsverstärker "nano Box USB" – eine sehr kompakter und mittels USB 2.0 Schnittstelle steuerbarer Controller.

Zeichnung

Zeichnung MIPOS 16-158

(+49) 3641 66 88-0

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