Piezo-Fokus-Objektivpositionierer: nanoMIPOS 400

Eigenschaften:

  • 400 µm Verstellbereich
  • Einfach und schnell zu montieren durch Flex-Adapter
  • Hohe Resonanzfrequenz
  • Kleine, kompakte Bauweise
  • Kapazitives Messsystem
  • Integrierte Vorspannung für "upside-down" Einsatz
  • Bi-direktionales nanoX®-Antriebsdesign

 

Anwendungsbeispiele:

  • Oberflächen-Scannen und -Analyse
  • AFM-Mikroskopie
  • Biotechnologie (z.B. Zelluntersuchungen)
  • Strahlfokussierung für Printprozesse
  • Halbleiterequipment



Die Piezo-Fokus-Objektivpositionierer nanoMIPOS 400 CAP wurde zur hochpräzisen Feinfokussierung von Mikroobjektiven entwickelt. Über einen Verstellbereich von 400 µm ermöglicht sie eine Auflösung im sub-nm Bereich. Das spezielle bi-direktionale nanoX® Antriebsdesign gewährleistet ausgezeichnete Führungseigenschaften und eine besonders hohe Bahntreue beim Fokussieren. Extern angeregte Schwingungen, wie sie z.B. durch motorische Mikroskopstative erzeugt werden können, haben aufgrund eines integrierten Dämpfungssystems und einer sehr hohen Eigenresonanz kaum Auswirkungen auf die nm-genaue Positionierpräzision des Systems. Eine Reproduzierbarkeit der Position kann durch ein integriertes Messsystem gewährleistet werden.

Wie alle MIPOS-Systeme von Piezosystem Jena kann der Piezo-Fokus-Objektivpositionierer nanoMIPOS mit Hilfe des Gewinde-Flex-Adapters mit allen gängigen Gewindetypen von W0.8x1/36" über M25x0.75 bis zu M32x0.75 verwendet werden.

nanoMIPOS 400 mit Objektiv

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