Shutter/Piezo-Spaltantriebe

Eigenschaften:

  • Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
  • Gesteuert von nur einem Piezo-Aktor
  • Spaltöffnung bis 1500 µm (1,5 mm)
  • Nanometer-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version
  • Optionales Wegmesssystem

Anwendungen:

  • Teilchenstrahlbegrenzung
  • Spektroskopie
  • Shutter
  • Optische Schalter

PZS 1 (230 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden gesteuert von nur einem Piezoaktor

  • Spaltöffnung bis 230 µm
  • Nanometer-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version erhältlich
  • Optional mit Wegmesssystem

Shutter/Spaltenantriebe

PZS4 Shutter / Spaltantrieb
Strahl-Kollimierung / Strahlformung

PZS 2 (60µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden gesteuert von nur einem Piezo-Aktor

  • Spaltöffnung bis 60 µm
  • Nanometer-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version erhältlich
  • Optional mit Wegmesssystem

PZS 3 (1500 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden gesteuert von nur einem Piezo-Aktor

  • Spaltöffnung bis 1500 µm (1,5 mm)
  • Nanometer-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version erhältlich
  • Optional mit Wegmesssystem

PZS 4 (300 µm Spalt) - Piezo-Spaltantrieb
Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden gesteuert von einem Piezoaktor

  • Spaltöffnung 300 µm
  • nm-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version erhältlich
  • Optional mit Wegmesssystem

Bei den Shuttern/Piezo-Spaltantrieben Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem einzigen Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung eingesetzt.

Damit ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) gesichert.

Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite wird die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem angeboten. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern dabei eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die Shutter/Piezo-Spaltantriebe PZS sind mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Generell können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden.

In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.

Mehr Informationen zu Spaltschneiden: Montageformen Spaltschneiden

(+49) 3641 66 88-0

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