Piezospaltantriebe PZS 2 (60 µm Spalt)

Eigenschaften:

  • Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
  • Gesteuert von nur einem Piezo-Aktor
  • Spaltöffnung bis 60 µm
  • Hochgenaue Positionsauflösung in Nanometer-Bereich
  • UHV-kompatible Version
  • Optional: mit Wegmesssystem


Anwendungen:

  • Teilchenstrahlbegrenzung
  • Spektroskopie
  • Optische Schalter
  • Shutter


Bei den Piezospaltantrieben der Serie PZS werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Für die Antriebskonstruktion werden spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung verwendet, die eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) sichern.

Emphohlen wird eine Ausstattung mit einem Messsystem zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite. Die verwendeten Dehnmessstreifen sichern eine Positioniergenauigkeit von 0,1% und mehr.

Die Piezospaltantriebe PZS sind mit Schneiden aus Edelstahl erhältlich. In der UHV-Version kann das Piezosystem mit spezieller KAPTON-Litze gefertigt werden.

PZS 2 (60 µm Spalt)

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