Piezo-Spaltantrieb PZS 3 (1500 µm Spalt)

Eigenschaften:

  • Symmetrische Bewegung zweier Spaltschneiden
  • Gesteuert von nur einem Piezoaktor
  • Spaltöffnung bis 1500 µm
  • Nanometer-genaue Auflösung
  • UHV-kompatible Version
  • Optionales Messsystem


Anwendungen:

  • Spektroskopie
  • Teilchenstrahlbegrenzung
  • Shutter
  • Optische Schalter


Beim Piezo-Spaltantrieb PZS werden zwei Spaltschneiden von einem Piezo-Aktor bewegt. Durch den Einsatz spezieller Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung ist eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (geschlossener Splat) gesichert. 

Zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite empfehlen wir die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem.

Der Piezo-Spaltantrieb ist mit Schneiden aus Stahl erhältlich. Allgemein können je nach Applikation die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden eingesetzt werden.

In der UHV-Version ist das System mit spezieller KAPTON-Litze erhältlich.

PZS 3 (1500 µm Spalt)

(+49) 3641 66 88-0

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