Piezo-Spaltantriebe PZS 4 (300 µm Spalt)

Eigenschaften:

  • Symmetrische Bewegung von 2 Spaltschneiden
  • gesteuert vom Piezo-Aktor
  • Spaltöffnung 300 µm
  • nm-genaue Positionsauflösung
  • UHV-kompatible Version
  • Optional: Wegmesssystem


Anwendungen:

  • Shutter
  • Teilchenstrahlbegrenzung
  • Spektroskopie
  • Optischer Schalter


Bei den Piezo-Spaltantrieben der Serie PZS 4 werden 2 Spaltschneiden von 1 piezoelektrischen Aktor bewegt. Eine symmetrische Bewegung beider Spaltschneiden relativ zur Mittellinie (Spalt geschlossen) ist durch spezielle Festkörpergelenke in Parallelogrammanordnung garantiert.

 Wir empfehlen die Ausrüstung mit einem Wegmesssystem zur Korrektur von Hysterese-, Drift- und thermisch bedingten Änderungen der Spaltbreite.

Die Piezo-Spaltantriebe PZS sind mit Schneiden aus Edelstahl erhältlich. Je nach Applikation können die verschiedensten Werkstoffe für Grundkörper und Spaltschneiden verwendet werden. In der UHV-Version kann das System mit spezieller KAPTON-Litze angeboten werden.

PZS 4 (300 µm Spalt)

(+49) 3641 66 88-0

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