Piezo-Positionierer für Spiegel: PSH 15/1 & PSH 30/1

Eigenschaften:

  • ±7,5 mrad bzw. ±15 mrad Kippwinkel
  • Hohe Schrittauflösung (0,03 µrad)
  • Hervorragende Führungsgenauigkeit
  • 1" Auflagefläche für Spiegel

Anwendungen:

  • Präzise Strahlablenkung
  • Optik
  • Lasertechnik
  • Lithographie
  • Messtechnik
  • Druckindustrie


Die Piezo-Positionierer PSH 15/1 und PSH 30/1 aus der Serie PSH wurden zum schnellen und präzisen Positionieren optischer Spiegel entwickelt.

Die FEM-berechneten Systeme wurden speziell für 1" große Komponenten konzipiert.

Diese Piezoelemente basieren auf dem von Piezosystem Jena entwickelten erfolgreichen nanoX® Antriebsprinzip. Dieses bidirektionale Antriebssystem der Serien nanoSX und nanoX® zeichnet sich durch eine aktive Zu- und Rückstellbewegung aus.

Wesentliches Merkmal dieser Hochleistungsantriebe ist daher die sehr hohe Steifigkeit und Eigenresonanzfrequenz - auch große Massen können hochdynamisch bewegt werden.

Die bidirektionale Antriebsweise dieser Piezo-Positionierer verleiht dem System eine hohe Robustheit und Unempfindlichkeit gegenüber externen Kräften.

Die zu bewegenden Komponenten können direkt auf die Kopflatte geklebt werden bzw. mittels Adapterplatte montiert werden.

PSH 15/1 & PSH 30/1

(+49) 3641 66 88-0

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