Hochlast-Stapelaktoren Serie PAHL

Hochlast-Stapelaktor der Serie PAHL
Hochlast-Stapelaktor der Serie PAHL

Hochlast-Stapeltranslatoren mit mechanischer Vorspannung

  • Stellbereich bis 200 µm
  • Sub-nm Auflösung
  • Blockierkraft 3500 N
  • Hohe Steifigkeit bis 165 N/µm
  • Zugfestigkeit 350 N
  • Hohe Dynamik
  • Geringe Anstiegszeit
  • Flexible Epoxy-Keramikisolierung
  • Anschraubgewinde in Kopf- und Fußstück
  • Optional Positionssensor für "closed loop"-Steuerung


Anwendungen (Beispiele):

  • Wafer-Alignment
  • Mikropositionierung
  • Scanning
  • Strahlablenkung
  • Dämpfungs- oder Schwingungserzeugung
  • Ventil-Steuerung
  • Nanopositionierung


Die Stapelaktoren der Serie PAHL sind mit einer integrierten Vorspannung versehen und somit ideal für Anwendungen mit höchster Dynamik und großen Kräften geeignet.
Aufgrund des besonderen Keramikdesigns, können sie Druckkräfte bis 3500 N aufnehmen, aber auch mit Zugkräften im Rahmen der mechanischen Vorspannung belastet werden.

Als Option lassen sich diese Aktoren mit einem Messsystem ausrüsten (DMS-Vollbrücke). Mit Dehnmessstreifen können Genauigkeiten im Nanometerbereich erzielt werden.

Einbauhinweise:
Die Befestigung erfolgt an Fuß- und Kopfstück durch Schraubverbindung. Eine Klemmung am Fußstück ist ebenfalls möglich.
Bitte benutzen Sie die Schlüsselfläche am Kopfstück zum Kontern der Befestigungsschraube. Beachten Sie bitte die maximal möglichen Zugkräfte.

(+49) 3641 66 88-0

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