Piezotranslator PU 90 – Stellbereich bis 90 µm

Eigenschaften:

  • Hohe Stabilität
  • Hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
  • Hohe Resonanzfrequenz
  • Stellbereich bis 90 µm
  • Integrierte Vorspannung
  • Dynamische Applikation
  • Bewegung ohne mechanisches Spiel
  • Integrierte Wegübersetzung
  • Einfache und universelle Justage
  • Vakuumkompatibel/ Titanausführung


Anwendungsbeispiele
:

  • Faserpositionierung, Laseroptik
  • Scansysteme
  • Mikromanipulation
  • Anwendung in 1D, 2D und 3D Systemen
  • Plattformnivellierung in der Lithographie


Da der Piezotranslator der Serie PU monolithisch aufgebaut und vollständig  aus Edelstahl besteht, erreicht er eine äußerst hohe Stabilität.
Durch eine interne Vorspannung ist er auch für dynamische Anwendungen einsetzbar. Aufgrund der robusten Konstruktion sind diese Elemente sehr hoch belastbar. Durch die praktisch unbegrenzte Auflösung der piezoelektrischen Aktoren sind diese Piezoantriebe in der Lage hohe Lasten, wie bspw. einen Waferchucks oder Waferhandling-Systeme, mit höchster Präzision zu positionieren.
Da die PU Aktoren mit einem Positionssensor ausgestattet sind, können sie langzeitstabil und wiederholbar positionieren.
Für Applikationen, in denen die dynamischen Parameter nicht weniger bedeutend sind, können auch Versionen aus TITAN oder INVAR angeboten werden.

PU 90 Piezoaktor

PU 90 mit Positionssensor
Serie PU Aktoren - Montage als XYZ Konfiguration

Empfohlene Piezo-Steuerung

  • 1-Kanal Verstärker
  • Open und closed loop-Operation
  • DMS- und CAP-Sensor Steuerung
  • RS 232-Interface (9-pol. D-Sub)
  • Anzeige wahlweise in Volt oder Mikrometer
  • Memory-Funktion
  • Ausgangsstrom 40 mA

(+49) 3641 66 88-0

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