Piezo-Nanopositioniersysteme für Bewegungen in zwei Achsen - Serie PXY 102

Eigenschaften:

  • 2D-Piezo-Nanopositioniersystem
  • zentrale Öffnung 40 mm
  • XY-Verfahrweg bis 100 µm (ol)
  • optional: integrierte Positionssensoren
  • spielfreie Bewegung jeder Achse
  • sub-Nanometer-Auflösung
  • adaptierbar auf Mikroskoptische
  • hohe Resonanzfrequenz für schnelle Zeilenvorschübe beim Scannen


Anwendungsbeispiele:

  • AFM und Mikroskopie
  • Mikromanipulation
  • Cantilever-Justage
  • Probenscanning in XY
  • Wafer-Stepper und Lithographie

 

Die Piezo-Nanopositioniersysteme der Serie PXY 102 ermöglichen spielfreie Bewegungen in XY-Richtung. Sie erreichen im open loop-Betrieb bis zu 100 µm Stellweg bei sehr kompakten Abmessungen. Der PXY 102 lässt sich unkompliziert mit motorischen Antrieben zu Mikropositioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren. Aufgrund des Aufbaus sind PXY102-Aktoren besonders für dynamische Anwendungen geeignet. Der freie Innendurchmesser von 40 mm macht diesen Piezo-Positionierer besonders für die Mikroskopie und für Scan-Applikationen interessant.

Das besondere Design und die hochpräzise Fertigung der Antriebselemente ermöglichen eine nanometergenaue, reproduzierbare 2D-Positionierung. Ferner können, aufgrund der hohen Eigensteifigkeit, Scanfunktionen besonders schnell und mit geringster Einschwingzeit umgesetzt werden. Um piezotypische Drift- und Hystereseeffekte zu vermeiden, können die Systeme mit DMS-Sensoren oder kapazitivem Wegmesssystem ausgerüstet werden.

PXY 102

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