Piezostellsysteme in zwei Achsen Serie PXY 201

Anwendungen:

  • Nanopositionierung
  • Mikroscanning
  • Scanning-Mikroskopie
  • Oberflächenanalyse
  • Metrologie
  • Justage


Die Piezostellsysteme der PXY 201 Serie bietet eine freie Apertur von 30x30mm² und einen Nanopositionier- und Mikroscanbereich von 250µm ungeregelt, bzw. 200µm im geregelten Betrieb.

PXY 201 CAP und PXY 201 CAP digital sind ausgestattet mit integrierter direkt messender hochauflösender kapazitiver Wegsensorik. In Kombination mit dem passenden Controller von piezosystem jena werden Drift und Hysterese ausgeglichen.

Weiterhin zeigt das System höchste Positionsstabilität, Linearität, Wiederholbarkeit und Genauigkeit. Dazu erlauben digital controller von piezosystem jena in-situ und ein dynamisches Setup der PID-Regelparameter, Anstiegsbegrenzung und Kerbfilterbandbreite. So ist es möglich, die Parameter abhängig vom aktuellen Beladungsszenario während des Systembetriebs durch "Versuch und Irrtum" anzupassen.

Die FEM optimierte Festkörpergelenkführung zeichnet sich aus durch höchste Bahntreue, speziell unter Belastung. Durch das Framedesign der Führung ist der Nanopositionier- und Mikroscanningtisch sehr robust gegen hohe Beladungen und falsche laterale Handhabung.

Zum Minimieren von unerwünschten Überschwingungen und zum Verkürzen der Einstellzeiten im Scannbetrieb ist die PXY 201 Serie ausgestattet mit integrierten passiven Dämpfungselementen. Die weiter verbesserte hohe Zuverlässigkeit der Piezostellsysteme PXY 201 Serie macht diese zur ersten Wahl für den industriellen Nanopositionier- und Mikroscaneinsatz.

Serie PXY 201

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