XY-Piezo-Positioniersysteme Serie PXY 36

Besonderheiten:

  • XY-Stellachsen
  • 36µm Verfahrbereich je Achse
  • kein mechanisches Spiel
  • FEM-optimierter Direktantrieb
  • hohe Dynamik für Scananwendungen
  • hohe Steifigkeit für geringste Einschwingzeit


Anwendungen:

  • Positionierung von Optiken
  • 2D-Scanner Systeme
  • Strahlführungssysteme
  • Halbleitertechnik
  • Mikropositionierung

Das XY-Piezo-Positioniersysteme PXY 36 bietet eine Positioniergenauigkeit im Nanometerbereich und dank einer hohen Führungsgenauigkeit des Piezo-Antriebes, eine ausgezeichnete Bahntreue, wie sie für viele Mikroskopieanwendungen erforderlich ist.

Das Piezoelement besitzt Festkörpergelenke im bewährten Parallelogrammdesign. Sie ermöglichen eine Parallelbewegung in X- und Y- Richtung ohne mechanisches Spiel. Durch dieses Konstruktionsprinzip wird eine sehr hohe Auflösung von unter einem Nanometer erzielt.

Durch das Design der FEM-optimierten Festkörpergelenke arbeiten die XY-Piezo-Positioniersysteme der Serie PXY 36 mit sehr kurzen Einschwingzeiten. Zusätzlich wird der laterale Versatz in Z-Richtung auf wenige Nanometer minimiert.

PXY 36

Bild: PXY 36 CAP

(+49) 3641 66 88-0

Unsere Ingenieure stehen Ihnen gern für eine umfassende Beratung zur Verfügung.

E-Mail-Adresse: info@piezojena.com

Kontaktformular

Wir melden uns schnellstmöglich bei Ihnen!

Unsere Partner weltweit