XY-Nanopositionierer Serie PXY 400

Eigenschaften:

  • hohe Resonanzfrequenz
  • integrierte Vorspannung
  • zentrale Durchgangsöffnung 22 mm x 22 mm
  • Waferpositionierung
  • Mikroskopie, Rastersondenmikroskopie
  • Automation

Anwendungen:

  • Scanner
  • Waferpositionierung
  • Rastersondenmikroskopie
  • Automatisierungstechnik
  • Handlingsysteme


Die XY-Nanopositionierer der Serie PXY 400 erreichen große Stellwege von 400 µm. Neu konstruierte Antriebe ermöglichen zugleich eine hohe Resonanzfrequenz und ein verbessertes dynamisches Verhalten.

Das System wurde speziell als XY-Scanner entwickelt, es ist jedoch für weitere vielfältige Einsatzmöglichkeiten geeignet.

Vorteilhaft für viele Anwendungen ist der freie Durchgang von 22x22mm² in der Mitte des Systems.

PXY 400

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