XYZ-Positionierer (Nanopositionierer) Serie TRITOR

Serie TRITOR - Merkmale

  • Produktvielfalt mit kompaktem Design
  • integrierte Vorspannung für hohe Dynamik
  • integrierte Positionssensorik verhindert Drift und Hysterese
  • Parallelbewegung durch Parallelogrammdesign
  • spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
  • kein Achsübersprechen durch spezielle Sensoranordnung
  • piezoelektrischer Antrieb für unbegrenzte Auflösung
  • Vakuum- und Tieftemperaturausführung
  • Bewegungen bis zu 400 µm

 

Die Serie umfasst folgende Systeme:

  • microTRITOR - Hub 9 µm, kleinster XYZ-Positionierer
  • miniTRITOR - Hub 38 µm XYZ, Scanning, Mikromontage
  • TRITOR 38  - Hub 38 µm XYZ, Scanning, Mikromontage
  • TRITOR 50 - Hub 50 µm XYZ, Messtechnik, Mikromontage
  • TRITOR 100 - Hub 100 µm, Messtechnik, Mikromontage, Alignment
  • TRITOR 101 und 102 - Hub 100 µm, Mikroskopie, Lasertechnik
  • TRITOR 320 - Hub XY:40 µm; Z:320 µm, Wafer & Lithographie
  • TRITOR 400 - Hub 400 µm, Probenpositionierung, Alignment


Die Nanopositionierer der Serie TRITOR sind für vielfältige Anwendungen bestens geeignet - von der Forschung bis zur OEM-Anwendung.

 

Das Design
FEM-optimierte monolithische Festkörpergelenke ermöglichen eine vollkommen spielfreie Positionierung in XY und Z. Bei einer einzigartigen Kompaktheit dieser Nanopositionierer können Parallelbewegungen bis 400 µm in allen drei Achsen realisiert werden. Das Besondere an den Antriebsystemen von piezosystem jena ist die integrierte Vorspannung jeder Achse, die bei hohen Beschleunigungen im dynamischen Betrieb ein Überschwingen verhindert. Das garantiert höchste Genauigkeit und hervorragende Führungseigenschaften. Alle Achsen können mit integrierten Positionssensoren ausgerüstet werden, die in Verbindung mit der entsprechenden Steuerelektronik Drift- und Hystereseffekte verhindern. Die kapazitive Sensorik misst dabei direkt die Bewegung der Kopfplatte in XYZ. Somit wird, im Gegensatz zu anderen Anbietern, ein Achsübersprechen erkannt und vermieden.

 

Der Einsatz
Die Nanopositionierer der Serie TRITOR sind hochempfindliche Positioniersysteme, die Genauigkeiten im sub-nm Bereich garantieren. Bitte beachten Sie die entsprechenden Montagehinweise bei der Handhabung. Alle Systeme besitzen auf Kopf- und Fußplatte Gewindebohrungen und zum Teil Stiftlöcher zur exakten Befestigung. Die Elemente der Serie TRITOR können daher problemlos mit anderen mechanischen Positioniersystemen kombiniert werden. Somit sind wir auch in der Lage, in Kombination mit Linearmesstischen, mm-Stellbereiche zu realisieren.

Produktübersicht

microTRITOR - 3D Nanopositionierer
Verfahrbereich XYZ: bis zu 9 µm
Abmessung: 15 x 15 x 15 mm / ohne Öffnung
kleinstes 3-Achsen-Positioniersystem

miniTRITOR - XYZ Positionierelement
Verfahrbereich XYZ: bis zu 38 µm
Abmessung: 19 x 19 x 16 mm / ohne Öffnung
kompaktes 3-Achsen-Positioniersystem

TRITOR 38 - XYZ 3D Nanopositionierer
Stellbereich XYZ: bis zu 38 µm / ohne Öffnung
Abmessung: 25 x 25 x 27 mm/Optional mit Sensor
Kompaktes 3-Achsen-Positioniersystem

TRITOR 50 - 3D Piezotisch
Stellbereich XYZ: bis zu 50 µm/ohne Öffnung
Abmessung: 55 x 42 x 34,5 mm/Sensor integriert
universelles 3-Achsen-Positioniersystem

TRITOR 100 - 3D Nanopositionierer
Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm / ohne Öffnung
Abmessung: 40 x 40 x 34 mm / Optional: mit Sensor
Universeller 3-Achsen-Piezopositionierer

TRITOR 101 - 3D-Piezopositionierer
Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm
Abmessung: 68 x 68 x 30 mm / Optional: mit Sensor
3-Achsen-Positionierer mit ø30 mm-Öffnung 

TRITOR 102 - 3D-Positionierelement
Verfahrbereich XYZ: bis zu 100 µm
Abmessung: 80 x 80 x 30 mm / mit Sensor erhältlich
3-Achsen-Nanopositionierer mit ø40 mm-Öffnung 

TRITOR 320 - 3D-Nanopositionierer
Hub XY: 50 µm, Z: bis zu 320 µm
Abmessung: 320 x 320 x 150 mm
3D Hochlastpositionierer, Öffnung: 150 x 150 mm

TRITOR 400 - 3D-Nanopositioniertisch
Hub XYZ: bis zu 400 µm
Abmessung: 116 x 106,5 x 40 mm
3D Positionierer, ø12,5 (19) mm-Öffnung*
* Durchmesser variiert nach Sensorvariante

(+49) 3641 66 88-0

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