Nanopositioniersysteme der Serie TRITOR 101

Eigenschaften:

  • Freier Innendurchmesser 30 mm
  • Hochparallele xyz-Bewegung durch Federparallelprogramme
  • Kompakte Maße bei großem Stellbereich
  • Spielfreie Bewegung durch Festkörpergelenke
  • Hohe Auflösung im nm- und sub-nm-Bereich
  • Integrierte Wegübersetzung
  • Stellbereich bis 100/80 µm (open/closed loop)


Die Nanopositioniersysteme TRITOR 101 ermöglichen spielfreie parallele Bewegungen in x-, y- und z-Richtung. Sie erreichen im open loop-Betrieb bis zu 100 µm Stellweg bei sehr kompakten Abmessungen.

TRITOR-Elemente lassen sich unkompliziert mit mechanischen oder elektromagnetischen Antrieben zu Positioniersystemen mit höchster Auflösung kombinieren.

Angeboten werden verschiedene Ausführungen dieser Elemente - z.B. mit integriertem Messsystem (DMS und kapazitiv) und Ausführungen für Vakuumanwendungen.

Aufgrund ihres Aufbaus sind die Piezoaktoren der Serie TRITOR für dynamische Anwendungen geeignet. Der freie Innendurchmesser von 30 mm (TRITOR 101) macht diese Nanopositionierer besonders für die Mikroskopie und für Scan-Applikationen interessant.

TRITOR 101

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