Z-Achsen Linear-Piezopositionierer Serie PZ

Die Z-Achsen Linear-Piezopositionierer der Serie PZ werden zur hochparallelen Bewegung von Proben, Optiken oder anderen Instrumenten in der Z-Achse angeboten.
Die Festkörpergelenke der hochauflösenden Positioniersysteme sind extra so konzipiert, dass bei einer Bewegung in der Z-Richtung, auch unter zusätzlicher  Last, dynamisch positioniert werden kann und der Versatz minimiert ist.

Generell sind die Z-Achsen Linear-Piezopositionierer der Serie PZ im "Stage-Design" mit Kopf- und Grundplatte ausgerüstet. Die Piezo-Antriebe der Serie PZ OEM und PZ D12 hingegen sind reine Antriebselemente, die zur schnellen Integration in Kundensysteme ausgelegt sind.

Highlights der Serie PZ:

  • Verstellweg: 8 µm bis 400 µm
  • Resonanzfrequenz: bis 3 kHz
  • Wiederholbarkeit: <5 nm

Z-Achsen Positionierer

Produktübersicht

PZ 10 – Piezo Positionierantrieb
Verfahrbereich in Z: bis zu 10 µm
Abmessung: 36.5x36.5x15 mm³
Paralleler Z-Hub-Antrieb

PZ 16 CAP - Positioniertisch-Serie
Verfahrbereich: bis zu 22 µm; CAP-Sensor
Größe: 45x45x30 mm3
Z-Hubtisch mit Kopf-/Fußplatte

PZ 38 - Positioniertisch-Serie
Verfahrbereich: bis zu 38 µm; Option Sensor
Größe: 25x25 bis 40x40 mm²
Z-Hubtisch mit Kopf-/Fußplatte

PZ 100 - Positioniertisch-Serie
Verfahrbereich bis: 100 µm
Größe: 40x40 mm2
Option: Sensor
Z-Hubtisch mit Kopf-/Fußplatte

PZ 250 SG - Z-Axis Translation Stages
Verfahrbereich bis: 350 µm (open loop)
Hubtisch für Proben in der Fokusebene
Basisplatte zur Integration im Mikroskop

PZ 250 CAP SG - Wafer-Positionierer
Verfahrbereich bis: 350 µm (ol)/ 250 µm (cl)
Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“
Hochgenaue Positionierung von Wafern in Inspektionssystemen

PZ 300 AP - Mikroskoptisch
Verfahrbereich: bis zu 300 µm inkl. Sensor
Für Zeiss, Olympus, Nikon, Leica usw.
Innenöffung und Probehalter Multiwell
Ergänzung zu motor. Mikroskoptischen

PZ 400 – Positionertisch-Serie
Verfahrbereich: bis zu 400 µm
Abmessung: 48x52 mm2
Option: Sensor
Z-Hubtisch mit Kopf-/Fußplatte

PZ 200OEM - Piezo Antriebselement
Verfahrbereich: bis zu 200 µm
Abmessung: 50x17 mm2
Option: Sensor
Z-Hub Linear-Antrieb zur Integration

PZ 400 OEM – Piezo-Antriebselement
Verfahrbereich: bis zu 400 µm
Abmessung: 66x24 mm2
Option: Sensor
Z-Hub Linear-Antrieb zur Integration

PZ 700 SI - Piezo-Positionierantrieb
Verfahrbereich: bis zu 700 µm
Größe: 120x112x28 mm³
Z-Achsen-Positionierer mit großem Hub

PZ 8 D12– Piezo Positionierantrieb
Verfahrbereich in Z: bis zu 8 µm 
Abmessung: 21x26x15 mm³
Kompatibel mit Serie PXY D12
Antriebselement ohne Kopf-/Fußplatte

PZ 20 D12– Piezo Positionierantrieb
Verfahrbereich in Z: 20 µm in Z-Achse
Abmessung: 21x26x15 mm3
Kompatibel mit Serie PXY D12
Antriebselement ohne Kopf-/Fußplatte

Die Serie PZ ist konzipiert, um leichtere Komponenten, wie Spiegel und Laserdioden oder ähnliche optische Bauteile im Bereich von Mikrometern langzeitstabil zu positionieren. Weitere typische Einsatzgebiete liegen im Bereich Justage und Montage in der Halbleitertechnik und Elektronik, sowie für Aufgaben in der Messtechnik und Qualitätsprüfung und auch der Mikrobiologie.

Verfügbar sind diese Systeme neben den speziellen OEM Varianten  auch in speziellen Versionen für den Vakuum- und Tieftemperaturbereich. Um Effekte wie Positionsdrift und Hysterese zu vermeiden, können die Piezoaktoren wahlweise mit DMS oder kapazitiver Positionssensoren ausgerüstet werden. Somit wird neben einer hohen Positionsstabilität zugleich eine Reproduzierbarkeit im sub-nm Bereich gewährleistet.

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