Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL

Eigenschaften:

  • Positionierschritte im einstelligen Nanometerbereich
  • Positionierung im Millisekundenbereich
  • Positionsstabilität von wenigen Nanometern
  • Stellweg ohne Positionsregelung von 350µm/ mit Positionsregelung: 250µm
  • sehr hohe Wiederholgenauigkeit

Applikationen:

  • Halbleiter- und Solarherstellung
  • Lithografie
  • Displayherstellung
  • Oberflächenstrukturierung
  • Oberflächenüberprüfung
  • Chipvermessung
  • Vermessung von Leiterbahnen
  • Messsysteme
  • Qualitätskontrolle
  • Bonding-Technologie

Optionen:

  • Zusätzliche Vakuumansaugung
  • Vakuumausführung
  • aktiver Kippausgleich

Der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL ermöglicht das präzise Positionieren von Wafern aller Art mit Durchmessern bis 12“. Er erreicht im closed loop-Betrieb einen Verfahrweg in Z-Richtung von 250 µm. In diesem Bereich sind Positionsschritte im einstelligen Nanometer-Bereich möglich. Ebenso ist es möglich, diese Position mit derselben Präzision beizubehalten. Der Winkelfehler des PZ 250 CAP WL liegt im unteren einstelligen µrad-Bereich. Somit ist der Wafer-Positionierer PZ 250 CAP WL für Anwendungen in der Halbleiter und Solarenergie, Lithografie und Oberflächenüberprüfung hervorragend geeignet.

Wafer-Positionierer PZ250 CAP WL

(+49) 3641 66 88-0

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