Piezo-Stellelement in Z-Achse PZ 400 OEM

Eigenschaften:

  • Bewegung ohne mechanisches Spiel
  • Hub bis zu 400 µm
  • Integrierte Wegübersetzung
  • nm-Auflösung
  • Einfache Justage
  • Integrierte Vorspannung
  • Dynamische Applikation
  • Hohe Resonanzfrequenz
  • Kombinierbar mit anderen Systemen
  • Vakuumkompatibel


Anwendungsbeispiele:

  • Faserpositionierung, Laseroptik
  • Scansysteme
  • Mikromanipulation


Grundprinzip der Bewegung sind Parallelogramme, die durch Festkörpergelenke gebildet werden. Piezokeramiken arbeiten als Antrieb. Damit wird eine parallele und spielfreie Bewegung erzeugt. Die z-Positionierungssysteme lassen sich leicht mit mechanischen oder elektromotorischen Systemen von verschiedenen Herstellern kombinieren.

Die Piezo-Stellelemente der Serie PZ 400 OEM können direkt mit XY-Elementen der Serie PXY oder mit Kippelementen der Serie PSH zu mehrdimensionalen Stellsystemen kombiniert werden.
Ein dynamischer Betrieb ist möglich.

Die Piezoelemente der Serie PZ 400 OEM können mit integrierten Wegsensoren (DMS) zur Vermeidung von Drift- und Hystereseeffekten ausgestattet werden.

PZ 400 OEM

Piezo OEM Antrieb PZ 400 SG

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