Z-Achsen Nanostelltisch PZ 8 D12

Eigenschaften:

  • Hochparallele Bewegung durch Parallelogrammdesign
  • 3 kHz Resonanzfrequenz
  • Version mit Positionssensor
  • Hub ohne mechanisches Spiel durch Festkörpergelenke

Anwendungsbeispiele:

  • STM und AFM Mikroskopie
  • Scannersysteme
  • Halbleitertechnik
  • Mikroelektronik


Die Z-Achsen-Nanostelltische PZ 8 bzw. 20 D12 wurden ursprünglich als Zusatzelemente für die Serie PXY D12 entwickelt und stellen eine Spezialausführung der PZ Aktoren dar. Sie bieten eine Bewegung in z-Richtung 8 µm bzw. 20 µm.

Die Piezoaktoren PZ 8 und 20 D12 verfügen über ein einfaches, schlichtes Design ohne Boden- oder Deckplatte und können sehr schnell und einfach mit anderen Systemen kombiniert werden. Alle Elemente sind mit Positionssensorik für closed loop Regelkreise und als Vakuum- und Tieftemperaturausführung verfügbar.

> Was ist closed-loop-Betrieb? - Lesen Sie nach in unserer Piezo-Pedia!

Z-Achsen Piezotisch PZ 8 D12

PZ 8D12– Piezo Positionierantrieb

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